Ростовое оборудование

Установки индукционного нагрева с частотой тока от 10 до 440кГц применяются для выращивания кристаллов кремния, германия и т.п.

НПФ «ФРЕАЛ и Ко» является лидером по производству установок для ростового оборудования.

  • Подробное описание
  • Технические характеристики
  • Документация

Благодаря высокой точности поддержания заданных параметров мощности и в требуемых частотных диапазонах, а также высокой надежности генераторов НПФ «ФЕАЛ и Ко», они активно применяются в процессах по выращиванию кристаллов. В некоторых случаях длительность процесса выращивания может достигать 400 часов.

Современная система управления позволяет оперативно управлять процессом, передавать все необходимые параметры нагрева на управляющий компьютер.

Все установки для нагрева подложек ростового оборудования конфигурируются индивидуально, для обеспечения заданных технологических параметров.

Состав:

  • ВЧ генератор ВГТ;
  • Блок согласования;
  • Индуктор.
  • Дополнительно поставляется:
  • Комплект герметичных токоподводов, при размещении индуктора в камере;
  • Автономная станция водяного охлаждения установки.
мощность от 10 до 100кВт
частота 2,4/4/8/10/22/44/66/440кГц
регулировка мощности от 0 до 100% дискретность 0.01кВт
интерфейсы связи RS-485 (MODBUS-RTU), Ethernet (TCP/IP)
охлаждение водяное